Yarimo'tkazgichlar tomonidan qayta ishlash bo'yicha dasturlar sohasida chiziqli qo'llanma
Yarimo'tkazgichlar varaqlarini qayta ishlash sohasida eng muhim qo'llanmada, xususan quyidagi jihatlarda aks ettirilgan:
Yuqori aniqlikdagi joylashuv: fotolitografiya jarayonida yuqori aniqlikdagi talabga javoban, pikrorizmga nisbatan keramik chiziqli qo'llanma qabul qilinadi<0.05μm after special polishing treatment, and with advanced drive and feedback system, sub-micrometer accurate positioning can be realized. This ensures the precise alignment of the mask plate and wafer in the photolithography process, guaranteeing the accuracy of the chip's critical dimensions (CD), such as a 12-inch wafer fab after the application of the key dimensions of the chip manufacturing deviation reduced by 40%, which greatly improves the precision and yield of chip manufacturing.
Yuqori tozalik: yarimo'tkazgichli ishlab chiqarish muhiti juda yuqori darajada tozalikni talab qiladi, bu chiplardagi chipiyalarga olib keladigan ifloslanishni talab qiladi, chunki chipda keltirilgan chiplar uchun qo'llanmadan tashqari . .
Yuqori barqarorlik va kuchli sezuvchanlik: Valofish stantsiyasi va yo'nalishda tez-tez qayta ishlash, shu bilan birga, bir vaqtning o'zida engillashtirilgan ballni boshqarish tizimi, bir vaqtning o'zida engillashtirilgan ballni boshqarish tizimi - bu vositalarni qayta ishlash va himoya qilishning barqarorligi, himoya qilishning barqarorligi, himoya qilishning barqarorligi, uni himoya qilishning barqaror ishlashi mumkin. Tizim ishlab chiqarish samaradorligini oshirish . Tizim vekselni qayta ishlash va ishlab chiqarish samaradorligini oshirish uchun uzluksizlik va barqarorlikni ta'minlash uchun mo'ljallangan.
